蓝宝石长晶炉用石墨制品
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泡生法蓝宝石结晶炉走水电极
导电电极(走水电极、长晶炉主导电体)是蓝宝石长晶真空炉的重要部件之一,是炉内加热热场与炉外电源连接的唯一通道;在炉内与热场(鸟笼)直接搭接,延伸到炉外的导电柱通过导电夹、软连接与电源柜连接。
该部件的结构复杂,精度要求高,加工难度较大,主要体现如下:
(1)导电柱与炉盖的结合:
导电电极是置放在蓝宝石长晶真空炉膛内,要穿过炉盖与外部电源连接,所以电极4个导电柱之间的公差要求极其严格,需要和炉盖上的4个孔位距离完全一致。如有误差,将无法装配。
(2)导电电极在加工过程中变形的问题:
电极是由纯铜原料加工而成,从原材料到成品,要经过很多道繁琐工序,每道工序都会产生应力,故容易变形。尤其是在最后的焊接工序中,因为焊接过程产生的热量会使应力释放,工件很可能因此而造成严重变形,精加工的所有公差尺寸都会受到影响,且无法恢复进行重新调整。
(3)电机冷却水的走水密封:
电极的截流能力远远大于导电要求,故导电电极自身不会发热,但真空长晶炉内虽有隔热装置,但还是有较高的温度传导到电极。加热热场的电热丝通过导电环会直接把热量传导到电极上。所以电极必须要通水冷却来保证电极的正常工作,真空长晶炉是高温高真空的工作环境才能有效长出晶体。故对电极的主体与导电柱、走水槽封板、工艺孔堵头部分的焊接有非常严格的要求。既不能因焊接降低导电率,又绝对不能有任何细微的渗漏,否则就达不到真空要求,长不出晶体。
我们通过与众多科研单位的密切合作,参考多家国外公司先进产品的成功经验,利用国内外的先进设备,攻破了各个环节上的技术难题,成功开发出了蓝宝石长晶炉专用电极。
每件产品出厂必须通过正压、负压、导电率等各项指标的严格检验。三年来,通过多家蓝宝石长晶炉生产厂家使用,在业界获得一致好评。

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