多晶石墨热场|石墨热场|单晶铸锭用石墨热场

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一种流行的设计方案是采用石墨材料制作热场隔热部件。标准的石墨保温材料由板状或者多层毯状石墨化碳纤维材料组成，在靠近热场中心的内表面往往需要加覆一层石墨纸或碳碳复合材料薄板用来提高热反射率和防止高压气流的冲刷。由于石墨材料本身所具有的多孔性和可渗透性，各层隔热材料之间不需要预留额外的空间。石墨材料具有优良的隔热性能，成本通常较金属屏低，而且非常易于使用。就制造成本，耐用性和可维护性而言，石墨隔热软毡较石墨隔热硬毡具有一定的优势。通过生产实践，金属隔热屏往往不适于环境恶劣的真空钎焊工艺。来自于焊料的金属物质会沉积在金属隔热屏的表面，由于隔热屏与所附着的焊料物质的热膨胀系数不同，金属隔热屏会产生弯曲变形与断裂，这会***终降低金属屏的隔热性能。金属屏在遇到铜焊合金溅射的情况下很容易受到损伤，导致屏的表面形成孔洞，热量会从这些孔洞中传递出去。当然，使用厚一些的金属屏特别是钼合金的屏会延长金属热场的使用寿命，但是却增加了可观的成本。比较好的解决方案是采用石墨材料制作隔热部件，实践证明，尽管在钎焊工艺中会有很多焊料沉积在石墨隔热材料的表面，但是却不会发生熔解的焊料与石墨隔热材料的熔合现象。虽然有人会质疑，认为石墨材料比金属材料更容易吸收水分，水分对钎焊工艺过程危害很大，但是，实践证明热场周而复始的升温与降温会很好地排除石墨隔热材料中的水分。

直拉单晶炉的热系统，也就是所谓的热场，是指为了熔化硅料，并使单晶生长保持在一定温度下进行的整个系统。 热场一般包括（石墨材料）压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓，且为了防止漏硅，炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。 石墨热场简单的说就是用来拉单晶硅的整套石墨加热系统。***常见的是18寸的石墨热场。