真空炉石墨元件的辅助功能元件：提升工艺效率的配角

真空炉石墨元件的辅佐功用元件：提高工艺效率的配角

石墨电极

结构：高纯度石墨棒或板，用于衔接电源与发热元件。

设计关键：采用水冷结构避免电极过热，接触电阻需控制在<5μΩ。

石墨坩埚

使用：熔炼金属或晶体生长（如蓝宝石、碳化硅）。

特性：耐高温（>2500℃）、抗热震性强，某石墨坩埚在2200℃下循环使用50次无裂纹。

石墨螺栓/螺母

功用：高温环境下的紧固衔接。

优势：无磁性、耐腐蚀，某石墨螺栓在1800℃下连续工作1000小时无松动。

石墨保护套

功用：包裹热电偶等测量元件，避免金属挥发污染。

案例：某真空炉使用石墨保护套后，热电偶寿命从50小时延长至200小时。

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